纳米光传感芯片及生化检测系统

【项目概况】  

如今，医疗保健、生物防御、环境监测和食品安全等行业对生物传感器的需求不断增长，这极大推动了全球范围内生物传感器市场的增长。

基于现有表面等离激元纳米结构传感检测系统研究存在的系统集成度低、功能单一、待测样品安装复杂、系统和传感芯片价格昂贵等问题，通过微纳米结构加工技术制备了灵敏度高、结构新颖、成本低且小巧轻便的纳米传感芯片。其次，将纳米传感芯片与液体流通集成技术和智能光学检测技术进行有机融合，打造了高灵敏度、小巧轻便、智能的生化检测仪器。

【关键技术】  

本项目的关键技术一方面在于如何设计并低成本加工出高精度的纳米结构实现高灵敏度的纳米传感芯片，另一方面在于如何优化系统结构从而实现各种模式下光谱信息的精确测量。

1.在纳米光传感芯片方面，利用溶胶纳米球光刻技术优化了结构芯片的制备工艺，进一步提高了芯片制备的成品率，减少由于人工导致的不可控失误。同时还改进了芯片切割工艺，通过用光刻胶保护的方法有效的解决了切割过程中粉尘带来的污染。本项目技术成熟度较高，目前已经实现了金纳米圆盘光芯片的制备，纳米结构均匀一致性好（如图2）。该纳米传感芯片批量制备已在实验室完成，整体结构尺寸已经达到4英寸（大约切割1cm*1cm的纳米传感芯片30片）。